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日本福樂(lè )FLUORO非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤(pán) BC 系列

非接觸式晶圓傳送伯努利卡盤(pán)BC系列的特點(diǎn)

伯努利卡盤(pán)BC-K系列
  • 主體可選擇20度、45度、90度,水平放置的BC-K系列支持2英寸至12英寸。
    (使用角度是固定的,不改變主體就無(wú)法改變使用角度。)
  • 由于導向擋塊具有輕微的錐度,因此晶片的邊緣會(huì )在一點(diǎn)處接觸。
  • 由抗靜電聚碳酸酯制成的導向環(huán)可以目視確認定位和吸附狀態(tài)。
  • 主體采用導電尼龍樹(shù)脂,實(shí)現了輕量化。
  • 它可以處理雙面印刷有圖案的晶圓,以及難以處理的薄至 50μm 的晶圓。
  • 我們還支持與目標對象相匹配的定制設計產(chǎn)品,例如方形。

伯努利卡盤(pán)BC-K系列
  • 由于伯努利卡盤(pán)使用高壓,出于**考慮,我們建議使用按鈕朝下,就像氣    槍一樣。(請參閱左圖。)

非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤(pán) BC 系列的工作原理

當晶圓放置在導向環(huán)的四個(gè)白色銷(xiāo)釘內并按下啟動(dòng)按鈕時(shí),晶圓會(huì )浮起并接近中心。之后用黑色方銷(xiāo)固定,可以無(wú)接觸運輸。

非接觸式晶圓傳輸伯努利卡盤(pán) BC 系列產(chǎn)品概述

伯努利卡盤(pán)BC-K系列

◆請從20度、45度、90度中選擇主機。通過(guò)更換導向環(huán)可以處理各種晶圓。導環(huán)更換也很容易。



為了保證真空鑷子能夠長(cháng)期安心使用,我們進(jìn)行了長(cháng)期閥門(mén)耐久測試,每天重復開(kāi)關(guān)按鈕8小時(shí)。
在0.3Mpa氣壓下進(jìn)行。

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